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スパッタリングターゲット
光学デバイス用スパッタリングターゲット
製品一覧表
型番 | 酸素欠損型 五酸化ニオブ(Nb2O5)ターゲット | 酸素欠損型酸化チタン(TiO2)ターゲット |
---|---|---|
比抵抗(Ω・㎝) | <0.01 ※DCスパッタが可能 | <0.1 ※DCスパッタが可能 |
密度比(%) | 99≦ |
型番 | 多結晶シリコン(Si)ターゲット | |
---|---|---|
構造 | 多結晶 | |
比抵抗(Ω・㎝) |
低抵抗タイプ | ≦0.02 |
高抵抗タイプ | 1~3 |
型番 | アルミ(Al)ターゲット | チタン(Ti)ターゲット |
---|---|---|
材質 | アルミ(Al) | チタン(Ti) |
純度(%) | 99.9995 純度5N5 | 99.995 純度4N5 |
型番 | 単結晶シリコン(Si)ターゲット |
---|---|
構造 | 単結晶 |
比抵抗(Ω・㎝) | ≦0.02 |
サイズ(mm) | 各種形状対応可能 |
型番 | ニオブ(Nb)ターゲット | クロム(Cr)ターゲット |
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純度(%) | 99.9 | |
サイズ(mm) | 各種形状対応可能 |
型番 | 炭化ケイ素系(SixC)ターゲット |
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純度(%) | ≧99 |
比抵抗(Ω・㎝) | ≦0.1 |