製品に関する
お問い合わせ
- ホーム
- 製品情報
- スパッタリングターゲット
- 光学デバイス用スパッタリングターゲット
スパッタリングターゲット
光学デバイス用スパッタリングターゲット
製品一覧表
| 型番 | 酸素欠損型 五酸化ニオブ(Nb2O5)ターゲット | 酸素欠損型酸化チタン(TiO2)ターゲット |
|---|---|---|
| 比抵抗（Ω・㎝） | ＜0.01 ※DCスパッタが可能 | ＜0.1 ※DCスパッタが可能 |
| 密度比（%） | 99≦ | |
| 型番 | 多結晶シリコン(Si)ターゲット | |
|---|---|---|
| 構造 | 多結晶 | |
| 比抵抗（Ω・㎝） |
低抵抗タイプ | ≦0.02 |
| 高抵抗タイプ | 1～3 | |
| 型番 | アルミ(Al)ターゲット | チタン(Ti)ターゲット |
|---|---|---|
| 材質 | アルミ(Al) | チタン(Ti) |
| 純度（%） | 99.9995 純度5N5 | 99.995 純度4N5 |
| 型番 | 単結晶シリコン(Si)ターゲット |
|---|---|
| 構造 | 単結晶 |
| 比抵抗（Ω・㎝） | ≦0.02 |
| サイズ(mm) | 各種形状対応可能 |
| 型番 | ニオブ（Nb）ターゲット | クロム（Cr）ターゲット |
|---|---|---|
| 純度（%） | 99.9 | |
| サイズ(mm) | 各種形状対応可能 | |
| 型番 | 炭化ケイ素系(SixC)ターゲット |
|---|---|
| 純度（%） | ≧99 |
| 比抵抗（Ω・㎝） | ≦0.1 |
