スパッタリングターゲット

光ディスクメディア用スパッタリングターゲット

光ディスクメディアの各機能層形成に使われる各種ターゲット。

製品一覧表

型番 酸化物ターゲット 記録膜ターゲット
材質 酸素欠損型 五酸化ニオブ(Nb2O5)
ターゲット		 酸素欠損型 酸化チタン(TiO2)
ターゲット		 -
比抵抗（Ω・㎝） ＜0.01　※DCスパッタが可能 ＜0.1　※DCスパッタが可能 -
密度比（%） 99≦ 99≦ 90≦
サイズ(mm) φ149/φ200 φ149/φ200 φ200

製品情報

光半導体

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（製品）

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