技術紹介

当社が研究開発を進める「微細加工技術」とは、基材上に、ナノメートル（nm）からマイクロメートル（μm）サイズの微細な形状を彫り込んだり、積層する技術を指しています。
フィルムまたは板状の基材表面に微細な形状を形成することで、材料だけでは得られない、今までにない機能を実現します。

当社の微細加工は、半導体製造などに使われる「フォトリソグラフィ技術」、「ナノインプリント技術」 を中心として開発を進めています。今日ではシミュレーション技術の進歩により、微細形状がもたらす機能・性能をより正確に予測できるようになりました。しかし、シミュレーション通りの形状を作る事は容易な事ではなく、いかに理想的な形状を形成するかが重要です。当社の微細加工技術は、まさに機能を実現するために生み出された技術であり、当社ではこの技術を様々な製品に応用展開しています。

フォトリソグラフィ技術の応用｜無機拡散板
ガラスなどの透明な基材の表面に無数の小さなレンズ（マイクロレンズ）を正確に彫り込み、レーザー光などの直進性の高い光を均質に拡がる光に変換
マイクロレンズ形状の形成に、フォトリソグラフィ技術が使われています。

（参考ページ）光学デバイス

インプリント技術の応用｜医療用アイシールド材
ナノメートルサイズの凹凸をフィルム上に敷き詰めた「モスアイ構造」により低反射・高透過を実現した医療用アイシールド向けフィルム
モスアイ構造の形成に、ロール原盤の加工技術、インプリント技術が使われています。

（参考ページ）医療用アイシールド材

その他、以下の製品にも使われています。

（参考ページ）拡散マイクロレンズアレイ

ここでは当社の微細加工技術のひとつであるナノインプリント技術について、もう少し詳しく解説していきます。ナノインプリント技術は、凹凸形状が刻まれた原盤を、樹脂が塗布された基材に押しつけて、反転形状を転写する技術です。この技術のポイントは、「高精度な原盤製作」と「正確かつ効率的な形状転写」になります。順序は逆になりますが、まず当社が採用する形状転写技術から説明をしていきます。

※1：ロール状に巻かれたフィルム基材を連続的に装置に供給し、そのままロールに巻き取る方式
以下の図は、Roll to Roll方式によるナノインプリント装置の概念図を記します。

フィルム基材は左から右に移動しながらその基材表面に紫外線硬化型樹脂を塗布、微細形状が刻まれた円筒状の原盤に押し付けて紫外線を照射することで、微細形状をフィルム基材上に転写します。フィルムに転写された形状は、原盤の凹凸の反転形状となります。円筒原盤を回転させることで、繋ぎ目のない形状転写が可能となると同時に、転写形状の再現性が高く、効率的な形状転写が可能となります。

続いて原盤製作技術についてです。
当社ではRoll to Roll方式のナノインプリント装置に使う原盤を自社で加工しています。原盤の母材となる円筒状の材料を回転させながら凹凸を刻んで製作するのですが、刻む形状や大きさに合わせてレーザー光を用いる「リソグラフィ加工」、バイトによる「精密機械加工」のいずれかを選択しています。
以下の図は、リソグラフィ加工、精密機械加工による円筒原盤加工の模式図です。

• 粒子整列型異方性導電膜（ACF）アレイフィックス