スパッタリングターゲット

光学デバイス用スパッタリングターゲット

高生産性、高信頼性を実現した光学膜用ターゲット。

  • 型番
    単結晶シリコン(Si)ターゲット
  • 特長
    • 特殊なボンディング技術により、ターゲットの反りを低減することで割れにくい。
    • バッキングプレートとの高いボンディング率により、安定した冷却効率を実現。

製品一覧表

仕様

単結晶シリコン(Si)ターゲット
構造 単結晶
比抵抗(Ω・㎝) ≦0.02
サイズ(mm) 各種形状対応可能

自動車サイドミラー、親水膜などのSiO2膜の形成

ご注意

この特性データは、当社の実施した評価結果に基づくものですが、お客さまのご使用時の製品特性を保証するものではありません。ご使用の際は、実際に使用される装置および被着材での評価結果に基づき、使用条件を十分ご検討の上、ご使用いただきますようお願いいたします。

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