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スパッタリングターゲット
光学デバイス用スパッタリングターゲット
高生産性、高信頼性を実現した光学膜用ターゲット。
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- 型番
- 単結晶シリコン(Si)ターゲット
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- 特長
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- 特殊なボンディング技術により、ターゲットの反りを低減することで割れにくい。
- バッキングプレートとの高いボンディング率により、安定した冷却効率を実現。

仕様
番 | 単結晶シリコン(Si)ターゲット |
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構造 | 単結晶 |
比抵抗(Ω・㎝) | ≦0.02 |
サイズ(mm) | 各種形状対応可能 |
自動車サイドミラー、親水膜などのSiO2膜の形成
ご注意
この特性データは、当社の実施した評価結果に基づくものですが、お客さまのご使用時の製品特性を保証するものではありません。ご使用の際は、実際に使用される装置および被着材での評価結果に基づき、使用条件を十分ご検討の上、ご使用いただきますようお願いいたします。