スパッタリングターゲット

光学デバイス用スパッタリングターゲット

高生産性、高信頼性を実現した光学膜用ターゲット。

型番

多結晶シリコン(Si)ターゲット
特長
- 異形状加工技術により、低アーキング特性を実現し、高い生産性と優れた高寿命特性を持つ。
- バッキングプレートとの高いボンディング率により、安定した冷却効率を実現。

低屈折率膜形成用

ご注意

この特性データは、当社の実施した評価結果に基づくものですが、お客さまのご使用時の製品特性を保証するものではありません。ご使用の際は、実際に使用される装置および被着材での評価結果に基づき、使用条件を十分ご検討の上、ご使用いただきますようお願いいたします。

製品情報

光半導体

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