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スパッタリングターゲット
光学デバイス用スパッタリングターゲット
高生産性、高信頼性を実現した光学膜用ターゲット。
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- 型番
- チタン(Ti)ターゲット
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- 特長
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- 通常のバッキングプレート付きに加え、ハイパワースパッタリングに対応した一体型をラインアップ
- バッキングプレートとの高いボンディング率により、安定した冷却効率を実現。
仕様
| 型番 | チタン(Ti)ターゲット |
|---|---|
| 材質 | チタン(Ti) |
| 純度（%） | 99.995 純度4N5 |
自動車サイドミラー、光触媒膜などのTiO2膜の形成
1.含有不純物規格値
試験条件
試験方法：A=熱伝導度法
B=赤外線吸収法
C=グロー放電質量分析(GDMS)
試験結果
| 含有不純物規格値 | 型番 | チタン(Ti)ターゲット | |
|---|---|---|---|
| 元素(ppm) | 最大値 | 試験方法 | |
| N | ≦50.00 | A | |
| O | ≦450.00 | B | |
| Ag | ≦1.00 | C | |
| Al | ≦8.00 | ||
| B | ≦1.00 | ||
| Ca | ≦1.00 | ||
| Cr | ≦10.00 | ||
| Cu | ≦2.00 | ||
| Fe | ≦20.00 | ||
| Ga | ≦1.00 | ||
| K | ≦1.00 | ||
| Li | ≦1.00 | ||
| Mg | ≦1.00 | ||
| Mo | ≦2.00 | ||
| Na | ≦1.00 | ||
| Ni | ≦2.00 | ||
| Si | ≦5.00 | ||
| Sn | ≦2.00 | ||
| Zn | ≦1.00 | ||
| U(ppb) | ≦1.00 | ||
| Th(ppb) | ≦1.00 | ||
ご注意
この特性データは、当社の実施した評価結果に基づくものですが、お客さまのご使用時の製品特性を保証するものではありません。ご使用の際は、実際に使用される装置および被着材での評価結果に基づき、使用条件を十分ご検討の上、ご使用いただきますようお願いいたします。
