スパッタリングターゲット

光学デバイス用スパッタリングターゲット

高生産性、高信頼性を実現した光学膜用ターゲット。

  • 型番
    チタン(Ti)ターゲット
  • 特長
    • 通常のバッキングプレート付きに加え、ハイパワースパッタリングに対応した一体型をラインアップ
    • バッキングプレートとの高いボンディング率により、安定した冷却効率を実現。

製品一覧表

仕様

型番 チタン(Ti)ターゲット
材質 チタン(Ti)
純度(%) 99.995 純度4N5

自動車サイドミラー、光触媒膜などのTiO2膜の形成

1.含有不純物規格値

試験条件

試験方法:A=熱伝導度法
B=赤外線吸収法
C=グロー放電質量分析(GDMS)

試験結果
含有不純物規格値 型番 チタン(Ti)ターゲット
元素(ppm) 最大値 試験方法
N ≦50.00 A
O ≦450.00 B
Ag ≦1.00 C
Al ≦8.00
B ≦1.00
Ca ≦1.00
Cr ≦10.00
Cu ≦2.00
Fe ≦20.00
Ga ≦1.00
K ≦1.00
Li ≦1.00
Mg ≦1.00
Mo ≦2.00
Na ≦1.00
Ni ≦2.00
Si ≦5.00
Sn ≦2.00
Zn ≦1.00
U(ppb) ≦1.00
Th(ppb) ≦1.00

ご注意

この特性データは、当社の実施した評価結果に基づくものですが、お客さまのご使用時の製品特性を保証するものではありません。ご使用の際は、実際に使用される装置および被着材での評価結果に基づき、使用条件を十分ご検討の上、ご使用いただきますようお願いいたします。

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