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スパッタリングターゲット
光学デバイス用スパッタリングターゲット
高生産性、高信頼性を実現した光学膜用ターゲット。
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- 型番
- チタン(Ti)ターゲット
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- 特長
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- 通常のバッキングプレート付きに加え、ハイパワースパッタリングに対応した一体型をラインアップ
- バッキングプレートとの高いボンディング率により、安定した冷却効率を実現。

仕様
型番 | チタン(Ti)ターゲット |
---|---|
材質 | チタン(Ti) |
純度(%) | 99.995 純度4N5 |
自動車サイドミラー、光触媒膜などのTiO2膜の形成
1.含有不純物規格値
試験条件
試験方法:A=熱伝導度法
B=赤外線吸収法
C=グロー放電質量分析(GDMS)
試験結果
含有不純物規格値 | 型番 | チタン(Ti)ターゲット | |
---|---|---|---|
元素(ppm) | 最大値 | 試験方法 | |
N | ≦50.00 | A | |
O | ≦450.00 | B | |
Ag | ≦1.00 | C | |
Al | ≦8.00 | ||
B | ≦1.00 | ||
Ca | ≦1.00 | ||
Cr | ≦10.00 | ||
Cu | ≦2.00 | ||
Fe | ≦20.00 | ||
Ga | ≦1.00 | ||
K | ≦1.00 | ||
Li | ≦1.00 | ||
Mg | ≦1.00 | ||
Mo | ≦2.00 | ||
Na | ≦1.00 | ||
Ni | ≦2.00 | ||
Si | ≦5.00 | ||
Sn | ≦2.00 | ||
Zn | ≦1.00 | ||
U(ppb) | ≦1.00 | ||
Th(ppb) | ≦1.00 |
ご注意
この特性データは、当社の実施した評価結果に基づくものですが、お客さまのご使用時の製品特性を保証するものではありません。ご使用の際は、実際に使用される装置および被着材での評価結果に基づき、使用条件を十分ご検討の上、ご使用いただきますようお願いいたします。