スパッタリングターゲット

光ディスクメディア用スパッタリングターゲット

型番

記録膜ターゲット
特長
- 相変化光ディスクなどの光磁気記録材料のサプライヤーとして、長年培ったノウハウと高い実績を持ち、独自のホットプレス技術により、均質で高密度なターゲットを実現。
- 特殊な粉末冶金プロセスにより、微細で均質な組織のターゲットを実現。スパッタ中のパーティクル発生を抑える。
- バッキングプレートとの高いボンディング率により、安定した冷却効率を実現。

型番	記録膜ターゲット
密度比(%)	90≦
サイズ(mm)	φ200

記録膜

ご注意

この特性データは、当社の実施した評価結果に基づくものですが、お客さまのご使用時の製品特性を保証するものではありません。ご使用の際は、実際に使用される装置および被着材での評価結果に基づき、使用条件を十分ご検討の上、ご使用いただきますようお願いいたします。

製品情報

光半導体

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（製品）

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