濺射

光学組件濺鍍靶材

實現高生產率、高可靠性的光學薄膜目標。

產品系列

產品名稱 缺氧五氧化二鈮（Nb2O5）靶材 缺氧二氧化鈦（TiO2）靶材
電阻率（Ω・cm） <0.01 *可進行直流濺射 <0.1 *可進行直流濺射
密度比（%） 99≦
產品名稱 多晶矽（Si）靶材
結構 多晶矽
電阻率（Ω・cm）
 低電阻型 ≦0.02
高阻型 1～3
產品名稱 鋁（Al）靶 鈦（Ti）靶
材料 鋁（Al） 鈦（Ti）
純度（％） 純度99.9995 5N5 純度99.995 4N5
產品名稱 單晶矽（Si）靶材
結構 單晶
電阻率（Ω・cm） ≦0.02
尺寸（毫米） 有多種形狀可供選擇
產品名稱 鈮（Nb）靶材 鉻（Cr）靶材
純度（％） 99.9
尺寸（毫米） 有多種形狀可供選擇
產品名稱 碳化矽（SixC）靶材
純度（％） ≧99
電阻率（Ω・cm） ≦0.1

產品

光半導體

常見問題（產品）
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