濺射

光学組件濺鍍靶材

實現高生產率、高可靠性的光學薄膜目標。

  • 產品名稱
    鈦(Ti)靶
  • 特徵
    • 除了標準背板類型外,我們還提供與高功率濺鍍相容的一體型類型。
    • 與背板的高結合率保證了穩定的冷卻效率。

產品系列

規格

產品名稱 鈦(Ti)靶
材料 鈦(Ti)
純度(%) 純度99.995 4N5

汽車後視鏡、光催化膜等 TiO2 薄膜的形成

1. 雜質標準值

測試條件

測試方法:A=熱導率法
B = 紅外線吸收法
C = 輝光放電質譜法 (GDMS)

結果
雜質標準值 產品名稱 鈦(Ti)靶
元素(ppm) 最大限度 測試方法
≦50.00 一個
≦450.00 B
≦1.00
≦8.00
B ≦1.00
Ca ≦1.00
≦10.00
≦2.00
Fe ≦20.00
≦1.00
≦1.00
≦1.00
≦1.00
≦2.00
≦1.00
≦2.00
≦5.00
≦2.00
≦1.00
鈾(ppb) ≦1.00
釷(ppb) ≦1.00

警告

關於特性資料的說明 - 本頁所述產品特性資料是基於本公司的評估結果。這並不保證產品特性符合您的使用環境。使用前,請根據實際使用的設備和基材的評估數據,確認使用條件。

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