關於我們
產品
濺射
光学組件濺鍍靶材
實現高生產率、高可靠性的光學薄膜目標。
-
- 產品名稱
- 鋁（Al）靶
-
- 特徵
-
- 除了標準背板類型外，我們還提供與高功率濺鍍相容的一體型類型。
- 與背板的高結合率保證了穩定的冷卻效率。
規格
| 產品名稱 | 鋁（Al）靶 |
|---|---|
| 材料 | 鋁（Al） |
| 純度（％） | 純度99.9995 5N5 |
HUD凹面鏡、平面鏡反射膜
1. 雜質標準值
測試條件
測試方法：C = 輝光放電質譜法 (GDMS)
結果
| 雜質標準值 | 產品名稱 | 鋁（Al）靶 | |
|---|---|---|---|
| 元素（ppm） | 最大限度 | 測試方法 | |
| 銀 | ≦0.50 | 碳 | |
| B | ≦0.80 | ||
| Ca | ≦0.70 | ||
| 鉻 | ≦0.50 | ||
| 銅 | ≦1.50 | ||
| Fe | ≦0.70 | ||
| 嘎 | ≦1.00 | ||
| 鉀 | ≦0.40 | ||
| 李 | ≦0.40 | ||
| 鎂 | ≦1.50 | ||
| 錳 | ≦0.20 | ||
| 莫 | ≦0.50 | ||
| 鈉 | ≦0.40 | ||
| 鎳 | ≦1.00 | ||
| 磷 | ≦3.00 | ||
| 秒 | ≦1.00 | ||
| 鈦 | ≦0.50 | ||
| 鋅 | ≦0.70 | ||
| 鈾（ppb） | ≦1.00 | ||
| 釷（ppb） | ≦1.00 |
警告
關於特性資料的說明 - 本頁所述產品特性資料是基於本公司的評估結果。這並不保證產品特性符合您的使用環境。使用前，請根據實際使用的設備和基材的評估數據，確認使用條件。
