White paper #6 スパッタリング技術

スパッタリングによる薄膜で素材に新機能 デクセリアルズの緻密な薄膜形成技術

スパッタリングとは何か?
多種多様な元素をスパッタリング
スパッタリング技術の応用
スパッタリング技術が可能にした反射防止フィルム
デクセリアルズ即時のロールtoロール方式スパッタリングプロセス
「10億分の1m」レベルで厚みを制御する
光学設計通りの多層膜を作る技術̶反射防止の効果を幅広く
薄膜にさまざまな機能を付与し、新たな価値を創造

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