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溅射
光学器件溅射靶材
产品列表
| 型号 | 缺氧五氧化二铌（Nb2O5）靶材 | 缺氧二氧化钛（TiO2）靶材 |
|---|---|---|
| 电阻率（Ω・cm） | <0.01 *可进行直流溅射 | <0.1 *可进行直流溅射 |
| 密度比（%） | 99≦ | |
| 型号 | 多晶硅（Si）靶材 | |
|---|---|---|
| 结构 | 多晶硅 | |
| 电阻率（Ω・cm） |
低电阻型 | ≦0.02 |
| 高阻型 | 1～3 | |
| 型号 | 铝（Al）靶 | 钛（Ti）靶 |
|---|---|---|
| 材质 | 铝（Al） | 钛（Ti） |
| 纯度（％） | 纯度99.9995 5N5 | 纯度99.995 4N5 |
| 型号 | 单晶硅（Si）靶材 |
|---|---|
| 结构 | 单晶 |
| 电阻率（Ω・cm） | ≦0.02 |
| 尺寸(mm) | 有多种形状可供选择 |
| 型号 | 铌（Nb）靶材 | 铬（Cr）靶材 |
|---|---|---|
| 纯度（％） | 99.9 | |
| 尺寸(mm) | 有多种形状可供选择 | |
| 型号 | 碳化硅（SixC）靶材 |
|---|---|
| 纯度（％） | ≧99 |
| 电阻率（Ω・cm） | ≦0.1 |
