溅射

光学器件溅射靶材

实现高生产率、高可靠性的光学薄膜目标。

  • 型号
    多晶硅（Si）靶材
  • 产品特性
    • 特殊的形状加工技术实现了低电弧特性、高生产率和优异的长寿命特性。
    • 与背板的高结合率保证了稳定的冷却效率。

产品列表

规格

型号 多晶硅（Si）靶材
结构 多晶硅
电阻率（Ω・cm） 低电阻型 ≦0.02
高阻型 1～3

应用例

用于形成低折射率薄膜

注意

该特性数据是基于本公司的评价结果得出的，不能作为客户使用时的产品特性保证。使用时，请根据实际使用装置及被贴材料上的评价结果，在充分研究使用条件的基础上使用。

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产品信息

光半导体

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