• 光盘介质用溅射靶材

  • 氧化物靶材
  • 记录膜靶材

  用以形成光盘介质各功能层的各种靶材。

• 光学仪器用溅射靶材

  • 多结晶硅(Si)靶材
  • 缺氧型 氧化钛(TiO₂)靶材
  • 缺氧型 五氧化二铌(Nb₂O₅)靶材
  • 单晶体硅(Si)靶材
  • 碳化硅系（SixC）靶材
  • 钛（Ti）靶材
  • 铌（Nb）靶材
  • 铬（Cr）靶材
  • 铝（Al）靶材

  拥有高生产率和高可靠性的光学膜用靶材。