溅射

作为各种光学功能薄膜基础的靶材: 这些溅射靶用于形成光盘记录层等光学功能膜中使用的各种金属和氧化物薄膜。

溅射靶材产品列表

光学器件溅射靶材
- 碳化硅（SixC）靶材
- 铬（Cr）靶材
- 铌（Nb）靶材
- 单晶硅（Si）靶材
- 钛（Ti）靶
- 铝（Al）靶
- 多晶硅（Si）靶材
- 缺氧二氧化钛（TiO₂）靶材
- 缺氧五氧化二铌（Nb₂O₅）靶材
实现高生产率、高可靠性的光学薄膜目标。
光盘介质溅射靶材
- 氧化物靶材
用于形成光盘介质各功能层的各种靶材。

产品信息

光半导体

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