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溅射
光学器件溅射靶材
实现高生产率、高可靠性的光学薄膜目标。
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- 型号
- 铝（Al）靶
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- 产品特性
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- 除了标准背板类型外，我们还提供与高功率溅射兼容的一体型类型。
- 与背板的高结合率保证了稳定的冷却效率。
规格
| 型号 | 铝（Al）靶 |
|---|---|
| 材质 | 铝（Al） |
| 纯度（％） | 纯度99.9995 5N5 |
HUD凹面镜、平面镜反射膜
1. 杂质标准值
试验条件
测试方法：C = 辉光放电质谱法 (GDMS)
试验结果
| 杂质标准值 | 型号 | 铝（Al）靶 | |
|---|---|---|---|
| 元素（ppm） | 最大限度 | 测试方法 | |
| 银 | ≦0.50 | 碳 | |
| B | ≦0.80 | ||
| Ca | ≦0.70 | ||
| 铬 | ≦0.50 | ||
| 铜 | ≦1.50 | ||
| Fe | ≦0.70 | ||
| 嘎 | ≦1.00 | ||
| 钾 | ≦0.40 | ||
| 李 | ≦0.40 | ||
| 镁 | ≦1.50 | ||
| 锰 | ≦0.20 | ||
| 莫 | ≦0.50 | ||
| 钠 | ≦0.40 | ||
| 镍 | ≦1.00 | ||
| 磷 | ≦3.00 | ||
| 秒 | ≦1.00 | ||
| 钛 | ≦0.50 | ||
| 锌 | ≦0.70 | ||
| 铀（ppb） | ≦1.00 | ||
| 钍（ppb） | ≦1.00 |
注意
该特性数据是基于本公司的评价结果得出的，不能作为客户使用时的产品特性保证。使用时，请根据实际使用装置及被贴材料上的评价结果，在充分研究使用条件的基础上使用。
