关于产品
的咨询
溅射
光学器件溅射靶材
实现高生产率、高可靠性的光学薄膜目标。
-
- 型号
- 钛（Ti）靶
-
- 产品特性
-
- 除了标准背板类型外，我们还提供与高功率溅射兼容的一体型类型。
- 与背板的高结合率保证了稳定的冷却效率。
规格
| 型号 | 钛（Ti）靶 |
|---|---|
| 材质 | 钛（Ti） |
| 纯度（％） | 纯度99.995 4N5 |
汽车后视镜、光催化膜等 TiO2 薄膜的形成
1. 杂质标准值
试验条件
测试方法：A=热导率法
B = 红外吸收法
C = 辉光放电质谱法 (GDMS)
试验结果
| 杂质标准值 | 型号 | 钛（Ti）靶 | |
|---|---|---|---|
| 元素（ppm） | 最大限度 | 测试方法 | |
| 北 | ≦50.00 | 一个 | |
| 哦 | ≦450.00 | B | |
| 银 | ≦1.00 | 碳 | |
| 铝 | ≦8.00 | ||
| B | ≦1.00 | ||
| Ca | ≦1.00 | ||
| 铬 | ≦10.00 | ||
| 铜 | ≦2.00 | ||
| Fe | ≦20.00 | ||
| 嘎 | ≦1.00 | ||
| 钾 | ≦1.00 | ||
| 李 | ≦1.00 | ||
| 镁 | ≦1.00 | ||
| 莫 | ≦2.00 | ||
| 钠 | ≦1.00 | ||
| 镍 | ≦2.00 | ||
| 秒 | ≦5.00 | ||
| 锡 | ≦2.00 | ||
| 锌 | ≦1.00 | ||
| 铀（ppb） | ≦1.00 | ||
| 钍（ppb） | ≦1.00 | ||
注意
该特性数据是基于本公司的评价结果得出的，不能作为客户使用时的产品特性保证。使用时，请根据实际使用装置及被贴材料上的评价结果，在充分研究使用条件的基础上使用。
