Sputtern

Sputtertargets für optische Datenträger

Verschiedene Ziele, die zum Bilden jeder Funktionsschicht optischer Datenträger verwendet werden.

Produktpalette

Produktname Oxidziel Aufnahmefilmziel
Material Sauerstoffarmes Niobpentoxid (Nb2O5)
Ziel		 Sauerstoffarmes Titanoxid (TiO2)
Ziel		 -
Spezifischer Widerstand (Ω・cm) <0,01 *DC-Sputtern ist möglich <0,1 *DC-Sputtern ist möglich -
Dichteverhältnis (%) 99≦ 99≦ 90≦
Größe (mm) φ149/φ200 φ149/φ200 φ200

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Optische Halbleiter

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