Sputtern

Sputtertargets für optische Geräte

Optische Filmtargets, die eine hohe Produktivität und Zuverlässigkeit erreichen.

  • Produktname
    Einkristallines Silizium (Si)-Target
  • Merkmale
    • Eine spezielle Verbindungstechnologie verringert die Verformung des Ziels und verringert so die Wahrscheinlichkeit von Rissen.
    • Eine hohe Verbindungsrate mit der Trägerplatte sorgt für eine stabile Kühlleistung.

Produktpalette

Technische Daten

NEIN. Einkristallines Silizium (Si)-Target
Struktur Einkristall
Spezifischer Widerstand (Ω・cm) ≦0.02
Größe (mm) Verschiedene Formen erhältlich

Anwendungsbeispiel

Bildung von SiO2-Filmen wie Autoseitenspiegeln und hydrophilen Filmen

Vorsicht

Hinweis zu den angegebenen Kenndaten: Die Angaben zu den Eigenschaften der hier beschriebenen Produkte basieren auf den Ergebnissen der vom Unternehmen durchgeführten Bewertungen. Dies garantiert nicht, dass die Produkteigenschaften mit Ihrer Einsatzumgebung übereinstimmen. Überprüfen Sie vor der Verwendung die Einsatzbedingungen anhand der Bewertungsdaten der tatsächlich verwendeten Geräte und Substrate.

Produktpalette

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Optische Halbleiter

Häufig gestellte Fragen
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