Sputtern

Sputtertargets für optische Geräte

Optische Filmtargets, die eine hohe Produktivität und Zuverlässigkeit erreichen.

  • Produktname
    Aluminium (Al)-Target
  • Merkmale
    • Zusätzlich zum Standardtyp mit Trägerplatte bieten wir auch einen integrierten Typ an, der mit Hochleistungssputtern kompatibel ist.
    • Eine hohe Verbindungsrate mit der Trägerplatte sorgt für eine stabile Kühlleistung.

Produktpalette

Technische Daten

Produktname Aluminium (Al)-Target
Material Aluminium (Al)
Reinheit(%) 99,9995 Reinheit 5N5

Anwendungsbeispiel

HUD-Hohlspiegel, Planspiegel-Reflexfolie

Technische Daten

1. Richtwerte für Verunreinigungen

Testbedingungen

Testmethode: C = Glimmentladungs-Massenspektrometrie (GDMS)

Ergebnisse
Richtwerte für Verunreinigungen Produktname Aluminium (Al)-Target
Element (ppm) Maximal Testmethode
Ag ≦0.50 C
B ≦0.80
Ca ≦0.70
Cr ≦0.50
Cu ≦1.50
Fe ≦0.70
Ga ≦1.00
K ≦0.40
Li ≦0.40
Mg ≦1.50
Mn ≦0.20
Mo ≦0.50
N / A ≦0.40
Ni ≦1.00
P ≦3.00
S ≦1.00
Ti ≦0.50
Zn ≦0.70
U (ppb) ≦1.00
Th(ppb) ≦1.00

Vorsicht

Hinweis zu den angegebenen Kenndaten: Die Angaben zu den Eigenschaften der hier beschriebenen Produkte basieren auf den Ergebnissen der vom Unternehmen durchgeführten Bewertungen. Dies garantiert nicht, dass die Produkteigenschaften mit Ihrer Einsatzumgebung übereinstimmen. Überprüfen Sie vor der Verwendung die Einsatzbedingungen anhand der Bewertungsdaten der tatsächlich verwendeten Geräte und Substrate.

Produktpalette

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Optische Halbleiter

Häufig gestellte Fragen
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