Sputtern

Sputtertargets für optische Geräte

Optische Filmtargets, die eine hohe Produktivität und Zuverlässigkeit erreichen.

  • Produktname
    Titan (Ti)-Ziel
  • Merkmale
    • Zusätzlich zum Standardtyp mit Trägerplatte bieten wir auch einen integrierten Typ an, der mit Hochleistungssputtern kompatibel ist.
    • Eine hohe Verbindungsrate mit der Trägerplatte sorgt für eine stabile Kühlleistung.

Produktpalette

Technische Daten

Produktname Titan (Ti)-Ziel
Material Titan (Ti)
Reinheit(%) 99,995 Reinheit 4N5

Anwendungsbeispiel

Bildung von TiO2-Filmen wie Autoseitenspiegeln und photokatalytischen Filmen

Technische Daten

1. Richtwerte für Verunreinigungen

Testbedingungen

Prüfmethode: A = Wärmeleitfähigkeitsmethode
B = Infrarot-Absorptionsmethode
C = Glimmentladungs-Massenspektrometrie (GDMS)

Ergebnisse
Richtwerte für Verunreinigungen Produktname Titan (Ti)-Ziel
Element (ppm) Maximal Testmethode
N ≦50.00 A
O ≦450.00 B
Ag ≦1.00 C
Al ≦8.00
B ≦1.00
Ca ≦1.00
Cr ≦10.00
Cu ≦2.00
Fe ≦20.00
Ga ≦1.00
K ≦1.00
Li ≦1.00
Mg ≦1.00
Mo ≦2.00
N / A ≦1.00
Ni ≦2.00
S ≦5.00
Sn ≦2.00
Zn ≦1.00
U (ppb) ≦1.00
Th(ppb) ≦1.00

Vorsicht

Hinweis zu den angegebenen Kenndaten: Die Angaben zu den Eigenschaften der hier beschriebenen Produkte basieren auf den Ergebnissen der vom Unternehmen durchgeführten Bewertungen. Dies garantiert nicht, dass die Produkteigenschaften mit Ihrer Einsatzumgebung übereinstimmen. Überprüfen Sie vor der Verwendung die Einsatzbedingungen anhand der Bewertungsdaten der tatsächlich verwendeten Geräte und Substrate.

Produktpalette

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Häufig gestellte Fragen
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