Sputtern

Sputtertargets für optische Geräte

Optische Filmtargets, die eine hohe Produktivität und Zuverlässigkeit erreichen.

  • Produktname
    Polykristallines Silizium (Si)-Target
  • Merkmale
    • Die spezielle Formverarbeitungstechnologie ermöglicht geringe Lichtbogenbildung, hohe Produktivität und ausgezeichnete Langlebigkeit.
    • Eine hohe Verbindungsrate mit der Trägerplatte sorgt für eine stabile Kühlleistung.

Produktpalette

Technische Daten

Produktname Polykristallines Silizium (Si)-Target
Struktur Polykristallin
Spezifischer Widerstand (Ω・cm) Typ mit geringem Widerstand ≦0.02
Hochbeständiger Typ 1~3

Zur Bildung von Filmen mit niedrigem Brechungsindex

Vorsicht

Hinweis zu den angegebenen Kenndaten: Die Angaben zu den Eigenschaften der hier beschriebenen Produkte basieren auf den Ergebnissen der vom Unternehmen durchgeführten Bewertungen. Dies garantiert nicht, dass die Produkteigenschaften mit Ihrer Einsatzumgebung übereinstimmen. Überprüfen Sie vor der Verwendung die Einsatzbedingungen anhand der Bewertungsdaten der tatsächlich verwendeten Geräte und Substrate.

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