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스퍼터링
광학 디바이스 용 스퍼터링 타겟
제품 일람표
| 품번 | 산소 결핍 니오븀 펜톡사이드(Nb2O5) 표적 | 산소결핍성 이산화티타늄(TiO2) 표적 |
|---|---|---|
| 비저항(Ω・cm) | <0.01 *DC 스퍼터링 가능 | <0.1 *DC 스퍼터링이 가능합니다 |
| 밀도 비율(%) | 99≦ | |
| 품번 | 다결정 실리콘(Si) 타겟 | |
|---|---|---|
| 구조 | 다결정 | |
| 비저항(Ω・cm) |
저저항형 | ≦0.02 |
| 고저항형 | 1～3 | |
| 품번 | 알루미늄(Al) 타겟 | 티타늄(Ti) 타겟 |
|---|---|---|
| 재질 | 알루미늄(Al) | 티타늄(Ti) |
| 청정(%) | 순도 99.9995 5N5 | 순도 99.995 4N5 |
| 품번 | 단결정 실리콘(Si) 타겟 |
|---|---|
| 구조 | 단결정 |
| 비저항(Ω・cm) | ≦0.02 |
| 크기(mm) | 다양한 모양이 가능합니다 |
| 품번 | 니오븀(Nb) 타겟 | 크롬(Cr) 타겟 |
|---|---|---|
| 청정(%) | 99.9 | |
| 크기(mm) | 다양한 모양이 가능합니다 | |
| 품번 | 실리콘 카바이드(SixC) 타겟 |
|---|---|
| 청정(%) | ≧99 |
| 비저항(Ω・cm) | ≦0.1 |
