제품관련 문의
스퍼터링
광학 디바이스 용 스퍼터링 타겟
높은 생산성과 높은 신뢰성을 달성하는 광학 필름 타겟입니다.
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- 품번
- 실리콘 카바이드(SixC) 타겟
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- 특징
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- 백킹 플레이트와의 높은 접합률로 안정적인 냉각 효율이 보장됩니다.
- 반응성 스퍼터링에 사용하면 Si 타겟에 비해 아크 및 균열이 현저히 감소하여 수명이 다할 때까지 안정적으로 사용할 수 있습니다.
사양
| 품번 | 실리콘 카바이드(SixC) 타겟 |
|---|---|
| 청정(%) | ≧99 |
| 비저항(Ω・cm) | ≦0.1 |
SiO2 필름 증착을 위한 SixC 타겟
SixC 타겟으로 증착된 SiO2 필름의 굴절률
참고: SixC 타겟의 필름 형성 속도(ULVAC 헬리콘 스퍼터링 장비)
<SixC 타겟과 Si 타겟 사용 후 외관 비교>
대상 크기: 127mm x 686mm x 6mm
주의
이 특성 데이터등은 당사에서 실시한 평가 결과에 기초한 자료이지만, 고객이 사용하실 때의 제품 특성을 보증하는 것은 아닙니다. 사용하실 때는 실제로 사용하실 설비 및 피착재를 이용한 평가 결과에 기초하여 사용 조건을 충분히 검토한 후 사용하시기 바랍니다.
