제품관련 문의
스퍼터링
광학 디바이스 용 스퍼터링 타겟
높은 생산성과 높은 신뢰성을 달성하는 광학 필름 타겟입니다.
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- 품번
- 티타늄(Ti) 타겟
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- 특징
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- 표준 백킹 플레이트 타입 외에도 고출력 스퍼터링에 적합한 일체형 타입도 제공합니다.
- 백킹 플레이트와의 높은 접합률로 안정적인 냉각 효율이 보장됩니다.
사양
| 품번 | 티타늄(Ti) 타겟 |
|---|---|
| 재질 | 티타늄(Ti) |
| 청정(%) | 순도 99.995 4N5 |
자동차 사이드미러, 광촉매막 등 TiO2막 형성
1. 불순물에 대한 표준값
시험 조건
시험방법 : A = 열전도도법
B = 적외선 흡수법
C = 글로우 방전 질량 분석법(GDMS)
시험 결과
| 불순물에 대한 표준값 | 품번 | 티타늄(Ti) 타겟 | |
|---|---|---|---|
| 원소(ppm) | 최고 | 시험 방법 | |
| N | ≦50.00 | 에이 | |
| 영형 | ≦450.00 | 비 | |
| 애그 | ≦1.00 | 기음 | |
| 알 | ≦8.00 | ||
| 비 | ≦1.00 | ||
| Ca | ≦1.00 | ||
| 크 | ≦10.00 | ||
| 구리 | ≦2.00 | ||
| Fe | ≦20.00 | ||
| 가 | ≦1.00 | ||
| 케이 | ≦1.00 | ||
| 리 | ≦1.00 | ||
| 마그네슘 | ≦1.00 | ||
| 모 | ≦2.00 | ||
| 나 | ≦1.00 | ||
| 니 | ≦2.00 | ||
| 에스 | ≦5.00 | ||
| 주석 | ≦2.00 | ||
| 아연 | ≦1.00 | ||
| U(ppb) | ≦1.00 | ||
| 티오(ppb) | ≦1.00 | ||
주의
이 특성 데이터등은 당사에서 실시한 평가 결과에 기초한 자료이지만, 고객이 사용하실 때의 제품 특성을 보증하는 것은 아닙니다. 사용하실 때는 실제로 사용하실 설비 및 피착재를 이용한 평가 결과에 기초하여 사용 조건을 충분히 검토한 후 사용하시기 바랍니다.
