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스퍼터링
광학 디바이스 용 스퍼터링 타겟
높은 생산성과 높은 신뢰성을 달성하는 광학 필름 타겟입니다.
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- 품번
- 다결정 실리콘(Si) 타겟
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- 특징
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- 특수 형상 가공 기술로 낮은 아크 특성, 높은 생산성, 뛰어난 장수명 특성을 실현합니다.
- 백킹 플레이트와의 높은 접합률로 안정적인 냉각 효율이 보장됩니다.
사양
| 품번 | 다결정 실리콘(Si) 타겟 | |
|---|---|---|
| 구조 | 다결정 | |
| 비저항(Ω・cm) | 저저항형 | ≦0.02 |
| 고저항형 | 1～3 | |
저굴절률 필름 형성을 위해
주의
이 특성 데이터등은 당사에서 실시한 평가 결과에 기초한 자료이지만, 고객이 사용하실 때의 제품 특성을 보증하는 것은 아닙니다. 사용하실 때는 실제로 사용하실 설비 및 피착재를 이용한 평가 결과에 기초하여 사용 조건을 충분히 검토한 후 사용하시기 바랍니다.
