스퍼터링
광 디스크 미디어용 스퍼터링 타겟
광 디스크 미디어의 각 기능 계층을 형성하는 데 사용되는 다양한 타겟입니다.
제품 일람표
| 품번 |
산화물 타겟 |
녹화 필름 타겟 |
| 재질 |
산소 결핍 니오븀 펜톡사이드(Nb2O5)
목표 |
산소 결핍 이산화 티타늄(TiO2)
목표 |
- |
| 비저항(Ω・cm) |
<0.01 *DC 스퍼터링 가능 |
<0.1 *DC 스퍼터링이 가능합니다 |
- |
| 밀도 비율(%) |
99≦ |
99≦ |
90≦ |
| 크기(mm) |
φ149/φ200 |
φ149/φ200 |
φ200 |
