스퍼터링

광 디스크 미디어용 스퍼터링 타겟

광 디스크 미디어의 각 기능 계층을 형성하는 데 사용되는 다양한 타겟입니다.

품번

산화물 타겟
특징
- 위상변화 광디스크 등 자기광학 기록소재 공급업체로서, 당사는 오랜 세월에 걸쳐 축적된 노하우와 검증된 실적을 보유하고 있으며, 당사의 독특한 열간프레싱 기술을 통해 균일하고 고밀도의 타겟을 제작할 수 있습니다.
- DC 스퍼터링은 NbOx 타겟(반응성 스퍼터링보다 약 2.5배 높음) 및 TiO₂ 타겟(반응성 스퍼터링보다 약 2배 높음)을 사용하여 높은 스퍼터링 속도를 허용합니다.
- 백킹 플레이트와의 높은 접합률로 안정적인 냉각 효율이 보장됩니다.

사양

품번	산화물 타겟
재질	산소 결핍 니오븀 펜톡사이드(Nb₂O₅) 표적	산소결핍성 이산화티타늄(TiO₂) 표적
비저항(Ω・cm)	<0.01 *DC 스퍼터링 가능	<0.1 *DC 스퍼터링이 가능합니다
밀도 비율(%)	99≦	99≦
크기(mm)	φ149/φ200	φ149/φ200

*다른 사이즈가 필요하시면 문의해 주세요.

사용 예

배리어 필름, 유전체 필름

특성•시험 데이터

1. 산소결핍 니오븀 펜톡사이드(Nb₂O₅) 타겟의 증착속도 시험

시험 조건

스퍼터링 전원 공급 장치: DC 5.1W/ ^cm2
타겟 크기 : φ50mm
T/S 거리: 80mm
공정 가스: Ar + O ₂ = 100 sccm
가스 압력: 0.24Pa
회로기판 : B270(Schott)
최대 진공 압력: ~ ^10-5 Pa