スパッタリングターゲット

光ディスクメディア用スパッタリングターゲット

光ディスクメディアの各機能層形成に使われる各種ターゲット。

  • 型番
    記録膜ターゲット
  • 特長
    • 相変化光ディスクなどの光磁気記録材料のサプライヤーとして、長年培ったノウハウと高い実績を持ち、独自のホットプレス技術により、均質で高密度なターゲットを実現。
    • 特殊な粉末冶金プロセスにより、微細で均質な組織のターゲットを実現。スパッタ中のパーティクル発生を抑える。
    • バッキングプレートとの高いボンディング率により、安定した冷却効率を実現。

製品一覧表

仕様

型番 記録膜ターゲット
密度比(%) 90≦
サイズ(mm) φ200
  • 他のサイズのご要望はご相談ください。

記録膜

ご注意

この特性データは、当社の実施した評価結果に基づくものですが、お客さまのご使用時の製品特性を保証するものではありません。ご使用の際は、実際に使用される装置および被着材での評価結果に基づき、使用条件を十分ご検討の上、ご使用いただきますようお願いいたします。

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