스퍼터링 타겟

광디스크미디어용 스퍼터링 타겟

광디스크미디어의 각 기능층 형성에 사용되는 각종 타겟.

제품 일람표

품번 산화물 스퍼터링 타겟 기록막 스퍼터링 타겟
재질 산소 결손형 5산화니오브(Nb2O5)
스퍼터링 타겟
산소 결손형 산화티탄(TiO2)
스퍼터링 타겟
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비저항(Ω・㎝) <0.01 ※DC 스퍼터가 가능 <0.1 ※DC 스퍼터가 가능 -
밀도비(%) 99≦ 99≦ 90≦
크기 (mm) φ149/φ200 φ149/φ200 φ200