스퍼터링 타겟

광학 디바이스용 스퍼터링 타겟

고생산성과 고신뢰성을 실현한 광학막용 스퍼터링 타겟.

제품 일람표

품번 산소 결손형 5산화니오브(Nb2O5) 스퍼터링 타겟 산소 결손형 산화티탄(TiO2) 스퍼터링 타겟
비저항(Ω・㎝) <0.01 ※DC 스퍼터가 가능 <0.1 ※DC 스퍼터가 가능
밀도비(%) 99≦
품번 다결정 실리콘(Si) 스퍼터링 타겟
구조 다결정
비저항(Ω・㎝)
저저항 타입
≦0.02
고저항 타입 1~3
품번 알루미늄(Al) 스퍼터링 타겟 티탄(Ti) 스퍼터링 타겟
재질 알루미늄(Al) 티탄(Ti)
순도(%) 99.9995 순도5N5 99.995 순도4N5
품번 단결정 실리콘(Si) 스퍼터링 타겟
구조 단결정
비저항(Ω・㎝) ≦0.02
크기(mm) 각종 형상 대응 가능
품번 니오븀(Nb)스퍼터링 타겟 크롬(Cr)스퍼터링 타겟
순도(%) 99.9
크기(mm) 각종 형상 대응 가능
품번 탄화규소계(SixC) 스퍼터링 타겟
순도(%) ≧99
비저항(Ω・㎝) ≦0.1