스퍼터링 타겟

광학 디바이스용 스퍼터링 타겟

고생산성과 고신뢰성을 실현한 광학막용 스퍼터링 타겟.

  • 품번
    단결정 실리콘(Si) 스퍼터링 타겟
  • 특징
    • 특수한 본딩 기술에 의해 타겟의 휨을 줄여줌으로써 잘 깨지지 않음.
    • Backing plate 와의 높은 본딩률에 의해 안정된 냉각 효율을 실현.

제품 일람표

사양

단결정 실리콘(Si) 스퍼터링 타겟
구조 단결정
비저항(Ω・㎝) ≦0.02
크기 (mm) 각종 형상 대응 가능

자동차 사이드미러, 친수막 등의 SiO2 막의 형성

주의

이 특성 데이터등은 당사에서 실시한 평가 결과에 기초한 자료이지만, 고객이 사용하실 때의 제품 특성을 보증하는 것은 아닙니다. 사용하실 때는 실제로 사용하실 설비 및 피착재를 이용한 평가 결과에 기초하여 사용 조건을 충분히 검토한 후 사용하시기 바랍니다.

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