스퍼터링 타겟

광학 디바이스용 스퍼터링 타겟

고생산성과 고신뢰성을 실현한 광학막용 스퍼터링 타겟.

  • 품번
    티탄(Ti) 스퍼터링 타겟
  • 특징
    • 일반 백킹 플레이트뿐만 아니라 고전력 스퍼터링에 대응한 일체형을 라인업.
    • Backing plate와의 높은 본딩율에 의해 안정된 냉각 효율을 실현.

제품 일람표

사양

품번 티탄(Ti) 스퍼터링 타겟
재질 티탄(Ti)
순도 (%) 99.995 순도4N5

자동차 사이드미러, 광촉매막 등의 TiO2 막의 형성

1.함유 불순물 규격치

시험 조건

시험 방법:A=열전도도법
B=적외선 흡수법
C=Glow Discharge Mass Spectrometry(GDMS)

시험 결과
함유 불순물 규격치 품번 티탄(Ti) 스퍼터링 타겟
원소(ppm) 최대치 시험 방법
N ≦50.00 A
O ≦450.00 B
Ag ≦1.00 C
Al ≦8.00
B ≦1.00
Ca ≦1.00
Cr ≦10.00
Cu ≦2.00
Fe ≦20.00
Ga ≦1.00
K ≦1.00
Li ≦1.00
Mg ≦1.00
Mo ≦2.00
Na ≦1.00
Ni ≦2.00
Si ≦5.00
Sn ≦2.00
Zn ≦1.00
U(ppb) ≦1.00
Th(ppb) ≦1.00

주의

이 특성 데이터등은 당사에서 실시한 평가 결과에 기초한 자료이지만, 고객이 사용하실 때의 제품 특성을 보증하는 것은 아닙니다. 사용하실 때는 실제로 사용하실 설비 및 피착재를 이용한 평가 결과에 기초하여 사용 조건을 충분히 검토한 후 사용하시기 바랍니다.

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