溅射靶材

光学仪器用溅射靶材

拥有高生产率和高可靠性的光学膜用靶材。

产品列表

型号 缺氧型 五氧化二铌(Nb2O5)靶材 缺氧型 氧化钛(TiO2)靶材
电阻率(Ω・㎝) <0.01 ※可DC溅射 <0.1 ※可DC溅射
密度比(%) 99≦
型号 多结晶硅(Si)靶材
构造 多结晶
电阻率(Ω・㎝)
低电阻型
≦0.02
高电阻型 1~3
型号 铝(Al)靶材 钛(Ti)靶材
材质 铝(Al) 钛(Ti)
纯度(%) 99.9995 纯度5N5 99.995 纯度4N5
型号 单晶体硅(Si)靶材
构造 单晶体
电阻率(Ω・㎝) ≦0.02
尺寸(mm)
可以应对各种形状
型号 铌(Nb)靶材 铬(Cr)靶材
纯度(%) 99.9
尺寸(mm) 可以应对各种形状
型号 碳化硅系(SixC)靶材
纯度(%) ≧99
电阻率(Ω・㎝) ≦0.1