溅射靶材

光学仪器用溅射靶材

拥有高生产率和高可靠性的光学膜用靶材。

  • 型号
    碳化硅系(SixC)靶材
  • 产品特性
    • 可以较高的粘合率与背板相结合,实现稳定的冷却效率。
    • 作为反应性溅射使用时,比起Si靶材,大幅减少电弧以及破裂的发生。可以稳定地使用到寿命。

产品列表

规格

型号 碳化硅系(SixC)靶材
纯度(%) ≧99
电阻率(Ω・㎝) ≦0.1

SiO2成膜专用SixC靶材

通过SixC靶材形成的SiO2膜的折射率

sixc_graph_1.png

参照:SixC靶材的成膜率(ULVAC螺旋波溅射装置)

sixc_graph_01.png

<SixC靶材和Si靶材使用之后外观的比较>


靶材尺寸:127mm X 686mm X 6mmt

SixC_hikaku.png

注意

该特性数据是基于本公司的评价结果得出的,并不是对客户使用时的产品特性作出的保证。使用时,请根据实际使用装置及被贴材料上的评价结果,在充分研究使用条件的基础上使用。

产品列表