溅射靶材

光学仪器用溅射靶材

拥有高生产率和高可靠性的光学膜用靶材。

  • 型号
    铝(Al)靶材
  • 产品特性
    • 产品阵容中除了有一般的带固定板型,还有支持高功率溅射的一体型
    • 可以较高的粘合率与背板相结合,实现稳定的冷却效率

产品列表

规格

型号 铝(Al)靶材
材质 铝(Al)
纯度(%) 99.9995 纯度5N5

HUD凹面镜、平面镜反射膜

1.含不纯物的标准值

试验条件

试验方法:C=辉光放电质谱分析(GDMS)

试验结果
含不纯物的标准值 型号 铝(Al)靶材
元素(ppm) 最大值 试验方法
Ag ≦0.50 C
B ≦0.80
Ca ≦0.70
Cr ≦0.50
Cu ≦1.50
Fe ≦0.70
Ga ≦1.00
K ≦0.40
Li ≦0.40
Mg ≦1.50
Mn ≦0.20
Mo ≦0.50
Na ≦0.40
Ni ≦1.00
P ≦3.00
Si ≦1.00
Ti ≦0.50
Zn ≦0.70
U(ppb) ≦1.00
Th(ppb) ≦1.00

注意

该特性数据是基于本公司的评价结果得出的,并不是对客户使用时的产品特性作出的保证。使用时,请根据实际使用装置及被贴材料上的评价结果,在充分研究使用条件的基础上使用。

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