溅射靶材

光学仪器用溅射靶材

拥有高生产率和高可靠性的光学膜用靶材。

  • 型号
    钛(Ti)靶材
  • 产品特性
    • 产品阵容中除了有一般的带固定板型,还有支持高功率溅射的一体型
    • 可以较高的粘合率与背板相结合,实现稳定的冷却效率

产品列表

规格

型号 钛(Ti)靶材
材质 钛(Ti)
纯度(%) 99.995 纯度4N5

汽车后视镜、光触媒膜等TiO2膜的形成

1.含不纯物的标准值

试验条件

试验方法:A=热导法
     B=红外线吸收法
     C=辉光放电质谱分析(GDMS)

试验结果
含不纯物的标准值 型号 钛(Ti)靶材
元素(ppm) 最大值 试验方法
N ≦50.00 A
O ≦450.00 B
Ag ≦1.00 C
Al ≦8.00
B ≦1.00
Ca ≦1.00
Cr ≦10.00
Cu ≦2.00
Fe ≦20.00
Ga ≦1.00
K ≦1.00
Li ≦1.00
Mg ≦1.00
Mo ≦2.00
Na ≦1.00
Ni ≦2.00
Si ≦5.00
Sn ≦2.00
Zn ≦1.00
U(ppb) ≦1.00
Th(ppb) ≦1.00

注意

该特性数据是基于本公司的评价结果得出的,并不是对客户使用时的产品特性作出的保证。使用时,请根据实际使用装置及被贴材料上的评价结果,在充分研究使用条件的基础上使用。

产品列表