溅射靶材

光学仪器用溅射靶材

拥有高生产率和高可靠性的光学膜用靶材。

  • 型号
    多结晶硅(Si)靶材
  • 产品特性
    • 采用异形加工技术,使材料拥有低电弧放电特性、高生产率和优异的使用寿命。
    • 可以较高的粘合率与背板相结合,实现稳定的冷却效率。

产品列表

规格

型号 多结晶硅(Si)靶材
构造 多结晶
电阻率(Ω・㎝) 低电阻型 ≦0.02
高电阻型 1~3

用于形成低折射率薄膜

注意

该特性数据是基于本公司的评价结果得出的,并不是对客户使用时的产品特性作出的保证。使用时,请根据实际使用装置及被贴材料上的评价结果,在充分研究使用条件的基础上使用。

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